近日，青島市企業(yè)自主研制的太陽能電池專用等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)、太陽能電池專用閉管軟著陸擴散爐通過新產(chǎn)品鑒定，達到國際先進水平，兩種設(shè)備均可以替代進口，價格約為國外同類設(shè)備的1/3，已占據(jù)國內(nèi)主要市場，對提高我國太陽能電池片技術(shù)具有重大促進作用。

PECVD是光伏產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備，以往基本依賴進口，青島市企業(yè)開發(fā)的PECVD設(shè)備解決了國產(chǎn)PECVD自動化程度低、溫度控制不準、工藝不穩(wěn)定的缺陷;擴散爐是太陽能電池片生產(chǎn)最核心的設(shè)備，決定電池片的光電轉(zhuǎn)化效率，我市企業(yè)開發(fā)的擴散爐實現(xiàn)了晶片擴散工藝的全自動化控制和生產(chǎn)過程的信息化管理、送料取料自動和精確控制。

據(jù)悉，這兩種設(shè)備均由青島賽瑞達電子裝備股份公司研制。