LGBC電池是有激光刻槽埋柵電極 (Laser groove bury contact) 工藝電池的簡稱。由UNSW開發(fā)的技術(shù)，是利用激光技術(shù)在硅表面上刻槽，然后埋入金屬，以起到前表面點(diǎn)接觸柵極的作用。如圖所示，發(fā)射結(jié)擴(kuò)散后，用激光在前面刻出20μm寬、40μm深的溝槽，將槽清洗后進(jìn)行濃磷擴(kuò)散，然后槽內(nèi)鍍出金屬電極。電極位于電池內(nèi)部，減少了柵線的遮蔽面積，使電池效率達(dá)到19.6%。

與傳統(tǒng)工藝的前表面鍍敷金屬層相比，這種電池具有的優(yōu)點(diǎn)是：柵電極遮光率小、電流密度高，埋柵電極深入硅襯底內(nèi)部可增加對(duì)基區(qū)光生電子的收集，濃磷擴(kuò)散降低濃磷區(qū)電阻功耗和柵指電極與襯底的接觸電阻功耗，提高了電池的開路電壓。

圖 7 ：新南威爾士大學(xué) 激光刻槽埋柵電池 h =19.8%

這種電池既保留了高效電池的特點(diǎn)，又省去了高效電池制作中的一些復(fù)雜的工藝，很適合利用低成本、大面積的硅片進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。目前這一技術(shù)已經(jīng)轉(zhuǎn)讓給好幾家世界上規(guī)模較大的太陽能電池生產(chǎn)廠。如英國的BP SOLAR和美國的SOLAREX等。

激光刻槽埋柵電池的大致工藝流程為：

硅片->清洗制絨->淡磷擴(kuò)散->熱氧化鈍化->開槽->槽區(qū)濃磷擴(kuò)散->背面蒸鋁->燒背場(chǎng)->化學(xué)鍍埋柵->背面電極->減反射膜->去邊燒結(jié)->測(cè)試。