22日，由特變電工新疆硅業(yè)有限公司研發(fā)的專利——一種多晶硅生產(chǎn)中汽化尾氣中氯化氫的方法及其裝置獲得2011年度新疆專利獎一等獎。這項專利不僅實現(xiàn)了多晶硅生產(chǎn)中尾氣部分的回收利用，提升了整個工藝流程清潔環(huán)保能力，而且取得良好節(jié)能降耗效果，每年可為企業(yè)節(jié)省1875萬元。

    據(jù)了解，目前國際上主流的多晶硅生產(chǎn)方法為改良西門子法。該方法生產(chǎn)過程中，會產(chǎn)生大量的包含氫氣、氯化氫和氯硅烷的尾氣，這些尾氣若不加以回收利用，會造成原料的極大浪費并嚴(yán)重破壞環(huán)境。為解決這一問題，特變電工新疆硅業(yè)有限公司積極創(chuàng)新，研發(fā)出一套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的尾氣干法回收系統(tǒng)，并申請獲得了專利。

    據(jù)專利發(fā)明人陳朝霞介紹，要實現(xiàn)尾氣中氯化氫的分離回收，需通過吸收與解析兩個工藝過程。在這兩個過程中，都需要消耗大量能量。分離回收的氯化氫此時呈液態(tài)，若要進(jìn)入后續(xù)工藝，還需將其加熱汽化，傳統(tǒng)多晶硅行業(yè)多通過電加熱器實現(xiàn)汽化，不僅耗費大量電能，而且氯化氫純度難以控制。

    由陳朝霞研制的一種多晶硅生產(chǎn)中汽化尾氣中氯化氫的方法及其裝置，利用尾氣中的低溫氯化氫液體，通過換熱設(shè)備，與尾氣中另一種需要回收的氣體——高溫氯硅烷液體進(jìn)行熱交換，換熱后再作為低溫吸收液體繼續(xù)吸收尾氣中的氯化氫。這樣就形成了一個循環(huán)圈，將尾氣產(chǎn)生的能量充分利用。

    通過實施專利，該公司每年可節(jié)約能量折合標(biāo)煤1.31萬噸，多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量也大大提升。