Manz推出新型太陽(yáng)能電池真空鍍膜系統(tǒng)
來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)來(lái)源 日期：2012-10-1 作者：全球電池網(wǎng) 點(diǎn)擊：
Manz AG近日推出了一款新的全自動(dòng)正面、背面鍍膜系統(tǒng)，由此宣布了其開(kāi)始進(jìn)入用于晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的真空鍍膜系統(tǒng)市場(chǎng)。
據(jù)Manz公司稱(chēng)，VCS 1200等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)可以給垂直放置的硅片正反兩面鍍膜，其每小時(shí)可以完成1200片硅片的鍍膜工作。鈍化過(guò)程可以通過(guò)PECVD完成。該系統(tǒng)也可以集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)線中。
VCS 1200可以在硅氮化物和氧化鋁層創(chuàng)造出最優(yōu)的層特性。此外，系統(tǒng)可以通過(guò)高性能的等離子體源(專(zhuān)利申請(qǐng)中)來(lái)縮減生產(chǎn)成本。等離子體源除了優(yōu)化層特性以外，還具有鍍膜的高穩(wěn)定性。
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